Jau 1738. gadā Šveices zinātnieks Daniels Bernulli ūdens plūsmas mērīšanai izmantoja diferenciālā spiediena metodi-, kuras pamatā bija pirmais Bernulli vienādojums{2}}. Vēlāk itāļu GB Venturi pētīja Venturi caurules izmantošanu plūsmas mērīšanai un publicēja savus atklājumus 1791. gadā.
1886. gadā amerikānis Klemenss Heršels izmantoja Venturi caurules principu, lai izveidotu praktisku ierīci ūdens plūsmas mērīšanai.
No 20. gadsimta sākuma līdz vidum pamazām nobriedās izveidotie mērīšanas principi; pētnieki vairs neaprobežoja savu domāšanu ar esošajām metodēm, bet gan sāka jaunus izpētes ceļus.
Līdz 20. gadsimta 30. gadiem sāka parādīties metodes šķidrumu un gāzu plūsmas ātruma mērīšanai, izmantojot akustiskos viļņus. Tomēr pirms Otrā pasaules kara šajā jomā tika panākts neliels progress; Tikai 1955. gadā Maxson plūsmas mērītājs-, kas izmantoja akustiskās cirkulācijas metodi-, tika ieviests, lai mērītu aviācijas degvielas plūsmu.
Kopš 1960. gadiem plūsmas mērīšanas instrumenti sāka attīstīties uz lielāku precizitāti un miniaturizāciju.
Strauji attīstoties integrētās shēmas tehnoloģijai, ultraskaņas plūsmas mērītāji, kuros iekļauta fāzes{0}}bloķētās cilpas tehnoloģija, ieguva plašu popularitāti. Turklāt plašais mikrodatoru pielietojums ievērojami uzlaboja plūsmas mērīšanas iespējas; piemēram, mikrodatoru integrēšana lāzera Doplera ātruma mērītājos ļāva apstrādāt sarežģītākus signālus.